Селективное травление экспонированных лазером тонких пленок хрома

В. П. Коронкевич, А. Г. Полещук, Е. Г. Чурин, Ю. И. Юрлов

Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР, Новосибирск

Поступила в редакцию: 27.06.1984

Реферативные базы данных:

•