Определение содержания и энергии связи водорода в алмазных пленках

Показана возможность прямого определения концентрации и энергии связи водорода в образцах алмазных пленок методом нагрева в вакууме при использовании промышленного анализатора водорода АВ-1. Математическая обработка измеренных временных зависимостей потока водорода в вакуум при различных температурах образца позволила определить энергии связи водорода со структурами алмазных пленок. Энергии связи водорода принимают значения в диапазоне от 0.20 до 1.80 eV. Значения энергий связи водорода велики по сравнению с энергией теплового движения 0.025 eV и в несколько раз ниже энергии С–Н-связи, равной 4.29 eV. Широкий интервал значений энергии связи водорода свидетельствует о наличии ловушек водорода различной природы или нескольких механизмов взаимодействия водорода со структурами алмазных пленок.