Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов

Приведены результаты исследования коммутационных свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения, полученных методом электрохимического осаждения. Установлены закономерности изменения контактного сопротивления в зависимости от числа циклов коммутации при различных толщинах и шероховатости покрытия. По результатам эксперимента были установлены оптимальные параметры контактного покрытия, необходимые для обеспечения минимальной величины контактного сопротивления МЭМС-коммутатора (микроэлектромеханического коммутатора) в установившемся режиме.