В. И. Иващенко, А. Д. Погребняк, О. В. Соболь, В. Н. Рогоз, А. А. Мейлехов, С. Н. Дуб, А. И. Купчишин, “Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN”, Письма в ЖТФ, 2015, том 41, выпуск 14,страницы 72

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb$_2$Al)N с аморфноподобной фазой AlN

В. И. Иващенко^a, А. Д. Погребняк^b, О. В. Соболь^c, В. Н. Рогоз^b, А. А. Мейлехов^c, С. Н. Дуб^d, А. И. Купчишин^e

^a Институт проблем материаловедения НАН Украины, Киев-142, Украина, Киев
^b Сумской государственный университет, Сумы, Украина
^c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт"
^d Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, г. Киев
^e Казахский национальный педагогический университет им. Абая

Аннотация: Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb$_2$Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb$_2$Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29–33.5 и 46–48 GPa соответственно.

Поступила в редакцию: 20.01.2015