Некоторые технологические аспекты диффузии серы в кремнии

Е. Г. Гук, А. В. Ельцов, С. Ф. Луизова, В. Б. Шуман, Т. А. Юрре

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 19.11.1984

Реферативные базы данных:

•