Комбинационное рассеяние света в пленках оксида меди, осажденных реактивным магнетронным распылением

Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света изучено влияние парциального давления кислорода при осаждении и изотермической обработке на химический состав пленок, полученных при магнетронном распылении на постоянном токе медной мишени в реактивной газовой среде. Исследованы три партии образов, изготовленных при парциальном давлении кислорода от 0.06 до 0.16 mTorr, имеющих вследствие этого различный химический состав. Термическая обработка каждого образца выполнена в течение 30 min на воздухе, при одной температуре из диапазона 300–500$^\circ$C. Установлено, что при повышении температуры в пленках происходят химические изменения и при 450$^\circ$C во всех партиях они приобретают состав CuO.