RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2025, том 51, выпуск 19, страницы 41–45 (Mi pjtf8034)

Влияние содержания Cr в покрытиях TiCrN, полученных методом вакуумно-дугового осаждения, на их фазовый состав, структуру и свойства

А. А. Леоновa, Ю. А. Денисоваa, В. В. Денисовa, М. С. Сыртановab

a Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
b Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия

Аннотация: Покрытия TiCrN осаждались на штамповую сталь Х12МФ вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом при различных значениях тока дуги хромового катода (40, 60, 80 и 100 А). Установлено, что увеличение тока дуги хромового катода приводит к повышению относительного содержания хрома в покрытиях с 0.26 до 0.52; повышению содержания фазы (Ti, Cr)N с 18.3 до 94.2%; уменьшению размера области когерентного рассеяния с $\sim$ 30–40 до $\sim$ 5 nm; повышению микродеформаций кристаллических решеток с (0.8–1.6) $\cdot$ 10$^{-3}$ до (10–11.1) $\cdot$ 10$^{-3}$. Покрытие состава Ti$_{0.54}$Cr$_{0.46}$N обладало максимальными физико-механическими (твердость $H$ = 37.4 GPa, отношение твердости и модуля упругости $H^3/E^2$ = 0.30 GPa) и триботехническими (коэффициент трения $\mu$ = 0.512) характеристиками среди исследуемых покрытий.

Ключевые слова: вакуумно-дуговое осаждение, покрытия TiCrN, фазовый состав, физико-механические свойства.

Поступила в редакцию: 24.03.2025
Исправленный вариант: 17.06.2025
Принята в печать: 08.07.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.19.61150.20322



© МИАН, 2025