Экспериментальное исследование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона

С целью разработки лабораторного стенда для ионно-кластерной модификации материалов выполнены экспериментальные исследования формирования ускоренных газофазных пучков аргона. Получены ускоренные пучки кластеров аргона с энергией до 22 keV и интенсивностью до 6 $\cdot$ 10$^{13}$ ions/(cm$^2$ $\cdot$ s) при среднем размере кластерных ионов до 10$^{13}$ atoms/cluster. Методом задерживающего потенциала исследованы распределения ионов по размерам в ускоренном ионно-кластерном пучке при различных давлениях торможения. Показано, что массовый состав ионно-кластерного пучка зависит от условий формирования ионного пучка.