Э. А. Ильичев, Е. П. Кириленко, Г. Н. Петрухин, Г. С. Рычков, О. А. Сахаров, Э. З. Хамдохов, Е. С. Чернявская, М. Л. Шупегин, А. А. Щекин, “Особенности формирования графеновых слоев из аморфных углеродных и кремний-углеродных пленок”, Письма в ЖТФ, 2014, том 40, выпуск 2,страницы 10

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Особенности формирования графеновых слоев из аморфных углеродных и кремний-углеродных пленок

Э. А. Ильичев, Е. П. Кириленко, Г. Н. Петрухин, Г. С. Рычков, О. А. Сахаров, Э. З. Хамдохов, Е. С. Чернявская, М. Л. Шупегин, А. А. Щекин

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф. В. Лукина, Москва

Аннотация: Обсуждаются результаты формирования на приборных структурах графеновых слоев из аморфных углеродных и кремний-углеродных пленок посредством использования последовательности технологических процедур, включающих процессы термодиффузии атомов углерода, их накопления на гетерогранице слоев с существенно различными коэффициентами диффузии и последующего фазового перехода углеродная квазижидкость–графеновый слой.

Поступила в редакцию: 04.07.2013