А. В. Емельянов, А. Г. Казанский, П. К. Кашкаров, О. И. Коньков, Н. П. Кутузов, В. Л. Лясковский, П. А. Форш, М. В. Хенкин, “Изменение структуры пленок аморфного гидрогенизированного кремния и концентрации водорода в них при фемтосекундной лазерной кристаллизации”, Письма в ЖТФ, 2014, том 40, выпуск 4,страницы 1

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Изменение структуры пленок аморфного гидрогенизированного кремния и концентрации водорода в них при фемтосекундной лазерной кристаллизации

А. В. Емельянов^abcd, А. Г. Казанский^abcd, П. К. Кашкаров^abcd, О. И. Коньков^abcd, Н. П. Кутузов^abcd, В. Л. Лясковский^abcd, П. А. Форш^abcd, М. В. Хенкин^abcd

^a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
^b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^d Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, г. Москва

Аннотация: Исследованы спектры рамановского рассеяния пленок аморфного гидрогенизированного кремния, подвергнутых фемтосекундному лазерному облучению. Плотность энергии лазерных импульсов именялась от 30 до 155 mJ/cm$^2$. Впервые получено распределение объемной доли кристаллической фазы по поверхности исследованных пленок и установлена корреляция между изменением объемной доли кристаллической фазы и изменением концентрации водорода в пленках аморфного гидрогенизированного кремния при их кристаллизации фемтосекундным лазерным излучением.

Поступила в редакцию: 03.10.2013