Влияние толщины наноразмерного слоя на структуру и свойства многослойных покрытий TiN/MoN

Обнаружено влияние толщины наноразмерного слоя на изменение структуры и свойств нанокомпозитных многослойных покрытий TiN/MoN. С помощью метода Arc-PVD были получены многослойные покрытия (чередующиеся) TiN/MoN. Толщина нанослоев была выбрана 2, 10, 20 и 40 nm. Обнаружено формирование двух фаз TiN(ГЦК) и $\gamma$-Mo$_2$N. Соотношение концентрации Ti и Mo меняется с изменением толщины слоя. Максимальное значение твердости, полученное для разных толщин слоев, не превышает 28–31 GPa. Стойкость TiN/MoN при резании и триботехнических испытаниях значительно больше, чем при тестах изделий с покрытиями из TiN. В наноструктурных многослойных покрытиях при толщинах слоя 10 и 20 nm наблюдается наименьшее значение коэффициента трения 0.09–0.12.