Формирование углеродных субнаноразмерных масковых покрытий на кремнии (100) в СВЧ-плазме низкого давления

С использованием методов сканирующих атомно-силовой и электронной микроскопии обнаружено явление самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кремнии (100) в СВЧ-плазме низкого давления. Показано, что полученные наноразмерные углеродосодержащие домены могут быть использованы в качестве масковых покрытий для получения с использованием высокоанизотропного плазмохимического травления пространственных низкоразмерных систем на монокристаллическом кремнии (100).