Образование алмазоподобной пленки методом магнетронного распыления графитовой мишени при воздействии потоком излучения от модели черного тела

Реализован метод магнетронного распыления графитовой мишени при воздействии на поверхность осаждаемой пленки потока излучения от высокотемпературной модели черного тела. Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии характеристических потерь энергии электронами исследован элементный состав, а также структура пленок. Проведенные исследования показали, что при плотности потока излучения в спектральном диапазоне 170–255 nm не менее 1.5 $\cdot$ 10$^{-4}$ W/m$^2$ могут быть получены химически чистые алмазоподобные пленки.