Сравнительный анализ покрытий Cr–B, полученных с помощью магнетронного напыления при постоянном токе и в режиме высокомощного импульсного распыления

С помощью магнетронного распыления боридной мишени при постоянном токе (DC) и в режиме высокомощного импульсного магнетронного распыления (HIPIMS) получены покрытия в системе Cr–B. Установлено, что при замене режима DC на HIPIMS подавляется столбчатый рост зерен, стойкость к пластической деформации возрастает в 2 раза, индекс пластичности и твердость покрытий увеличиваются на 29 и 18% соответственно.