С. Х. Алихаджиев, Н. В. Лянгузов, П. С. Пляка, Г. Н. Толмачев, “Свойства пылевых частиц, образующихся в плазме кислородного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция”, Письма в ЖТФ, 2014, том 40, выпуск 18,страницы 90

Эта публикация цитируется в 1 статье

Свойства пылевых частиц, образующихся в плазме кислородного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция

С. Х. Алихаджиев^a, Н. В. Лянгузов^b, П. С. Пляка^c, Г. Н. Толмачев^c

^a Чеченский государственный университет, г. Грозный
^b Южный федеральный университет, физический факультет, г. Ростов-на-Дону
^c Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону

Аннотация: Исследованы поведение и свойства пылевых частиц, образующихся в плазме кислородного емкостного ВЧ-разряда в процессе распыления керамической мишени Ba(0.8)Sr(0.2)TiO$_3$. Частицы накапливались в потенциальных ловушках вблизи мишени при удаленном положении подложки. Методом рассеяния лазерного излучения получены зависимости плотности пылевого скопления от рабочего давления, мощности, положения подложки и ее потенциала. Собраны пылевые частицы, определены их размеры и изучен состав.

Поступила в редакцию: 05.05.2014