Формирование многослойного сверхтвердого покрытия Ti–Hf–Si–N/NbN/Al$_2$O$_3$ для высокоэффективной защиты

Впервые получены многослойные твердые микро- и наноструктурные покрытия, полученные несколькими технологиями осаждения на основе Ti–Hf–Si–N/NbN/Al$_2$O$_3$ на подложку из стали. Обнаружено, что исследуемые покрытия, наряду с высокой твердостью $(H)$ от 47 до 56 GPa и модулем упругости $(E)$ от 435 до 570 GPa, индексом пластичности $W_e$ = (0.08–0.11), имеют достаточно низкий коэффициент трения $(\mu)$, величина которого варьируется в пределах от 0.02 до 0.001 при заданных режимах осаждения. Показано, что эти многослойные покрытия обладают высокой термической стабильностью (свыше 1000$^\circ$C).