Микрорезонаторный интерференционный волоконно-оптический датчик относительной влажности воздуха

Разработан новый тип волоконно-оптического датчика относительной влажности воздуха на основе микромеханического кремниевого микрорезонатора и силикагеля. Выходной сигнал такого датчика в частотной форме малочувствителен к вариациям мощности лазерного источника и случайным затуханиям в волокне. При использовании чисто оптического возбуждения колебаний резонатора чувствительный элемент такого датчика будет полностью пассивным, так как не будет содержать электронных компонентов и цепей. Датчик показал высокую чувствительность при относительной влажности менее 75%, возможность работы при отрицательных температурах, низкую зависимость показаний от температуры воздуха. Зависимость массы влаги, адсорбированной силикагелем, от относительной влажности воздуха оказалась линейной, что упрощает калибровку датчика.