Аннотация:
Представлены результаты разработки и исследования влагочувствительных элементов на основе пучка углеродных нанотрубок. Показано, что массивы нанотрубок, выращенные низкотемпературным плазмохимическим методом на планарных кремниевых структурах, обладают рекордной чувствительностью к влаге. Отношение сопротивлений структуры в сухом и влажном состоянии превышает 10$^5$ раз. Такое высокое относительное изменение сопротивлений обусловлено характером изменения проводимости носителей заряда между отдельными трубками пучка при адсорбции молекул воды.