Влияние ионного тока на определение температуры и концентрации электронов зондовым методом

Выявлен эффект завышения электронной температуры, определяемой по наклону измеряемой ВАХ или второй производной зондового тока методом Дрювестейна. Показано, что учет вклада ионного тока позволяет уточнить экспериментально измеряемую по наклону ВАХ температуру электронов. Анализ подтверждает завышение концентрации ионов, определяемой по ВАХ в условиях столкновений в призондовом слое.