А. С. Конашук, А. А. Соколов, В. Е. Дрозд, А. А. Романов, Е. О. Филатова, “Изучение влияния пористой подложки SiO$_2$ на свойства пленок Al$_2$O$_3$ с помощью рентгеновской рефлектометрии”, Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 12,страницы 24

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Изучение влияния пористой подложки SiO$_2$ на свойства пленок Al$_2$O$_3$ с помощью рентгеновской рефлектометрии

А. С. Конашук, А. А. Соколов, В. Е. Дрозд, А. А. Романов, Е. О. Филатова

Санкт-Петербургский государственный университет

Аннотация: Методом рентгеновской спектроскопии отражения изучено строение пленок Al$_2$O$_3$ различной толщины, синтезированных техникой молекулярного наслаивания на пористом SiO$_2$. Установлено, что синтезированные пленки являются аморфными, причем соотношение количества тетраэдрических и октаэдрических координаций атомов алюминия в пленке зависит от ее толщины. Предположительно более толстые пленки оксида алюминия содержат больше тетраэдрических координаций.

Поступила в редакцию: 30.11.2011