Аннотация:
Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия состава Ti–Hf–N(Fe). Обнаружено с помощью $\mu$-PIXE (микропучка ионов) формирование локальных областей из (Ti,Hf)N, FeN и Hf. Выявлено то, что синтезированные покрытия имеют нанотвердость 48 $\pm$ 1 GPa и сформированы из нанозерен с размером от 4.8 до 10.6 nm, которые обволакиваются более мелкими образованиями других фаз (Ti,Fe)N и FeN. Наблюдается хорошая корреляция результатов, полученных с помощью XRD, TEM, AFM а также SEM с микроанализом, которые в свою очередь дополняются результатами анализов, полученных с помощью микропучка ионов и PIXE.