Исследование морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью

Посредством атомно-силовой микроскопии (АСМ) изучена зависимость морфологии пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, полученных методом химического парофазного осаждения при низком давлении (LPCVD), от температуры осаждения. Для температурного интервала, в котором происходит образование пленок поликристаллического кремния с шероховатой поверхностью, получены зависимости относительного приращения площади поверхности, плотности, среднего размера и средней высоты зерен, среднеквадратической шероховатости и корреляционной длины от температуры осаждения.