Исследование методом комбинационного рассеяния света тонких пленок магнетита на окисленной поверхности кремния

Методом комбинационного рассеяния света исследованы поликристаллические пленки магнетита, сформированные реактивным осаждением Fe в атмосфере кислорода на подложке Si(001), покрытой тонким (1.4 nm) и толстым (1200 nm) слоем SiO$_2$. Установлено, что в пленках Fe$_3$O$_4$, выращенных на толстом слое SiO$_2$, происходит образование фазы $\alpha$-Fe$_2$O$_3$ за счет нагрева под действием лазерного излучения. Показано, что образование фазы $\alpha$-Fe$_2$O$_3$ зависит от толщины слоя оксида кремния.