RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 18, страницы 53–59 (Mi pjtf8958)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Затравочные слои на подложках RABiTS для ВТСП проводов второго поколения

И. А. Черных, А. М. Строев, Л. В. Клевалина, М. Ю. Пресняков, Е. А. Головкова, С. А. Тихомиров, М. Л. Занавескин, А. Н. Марченков, А. К. Шиков

Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва

Аннотация: Методом импульсного лазерного осаждения на металлических лентах RABiTS сформированы эпитаксиальные пленки CeO$_2$ и Y$_2$O$_3$. Проведено исследование зависимости кристаллической ориентации пленок от температуры синтеза. Показано, что пленки Y$_2$O$_3$ формируются со 100%-й ориентацией (100), в то время как в пленках CeO$_2$ во всем диапазоне температур роста присутствует паразитная ориентация. Острота текстуры в плоскости подложки составила 8$^\circ$. Исследования поверхности пленок показали, что в пленках CeO$_2$ при увеличении температуры синтеза возникают трещины, поверхность пленок Y$_2$O$_3$ является сплошной во всем диапазоне температур синтеза. Пленки Y$_2$O$_3$ наиболее соответствуют требованиям, предъявляемым к затравочным слоям: являются эпитаксиальными с кристаллической ориентацией (100), наследуют текстуру подложки, поверхность является гладкой, без наличия трещин.

Поступила в редакцию: 04.05.2012


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:9, 849–852

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025