RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 20, страницы 1–7 (Mi pjtf8976)

Эта публикация цитируется в 9 статьях

Расчет контраста протяженных дефектов в методе индуцированного рентгеновским пучком тока

Я. Л. Шабельниковаab, Е. Б. Якимовab, М. В. Григорьевab, Р. Р. Фахртдиновab, В. А. Бушуевab

a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

Аннотация: Для метода наведенного рентгеновского пучком тока (XBIC) рассчитан контраст протяженных дефектов – дислокаций и границ зерен. Показано, что максимальный контраст растет при увеличении диффузионной длины неравновесных носителей заряда и уменьшается при увеличении ширины рентгеновского зонда. Приведено сравнение модельных и экспериментально измеренных профилей контраста наведенного тока от границ зерен.

Поступила в редакцию: 20.03.2012


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2012, 38:10, 913–916

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025