Ю. А. Манкелевич, А. В. Митин, В. С. Митин, А. Ф. Паль, Т. В. Рахимова, А. Н. Рябинкин, А. О. Серов, С. Ю. Лучкин, “Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней”, Письма в ЖТФ, 2012, том 38, выпуск 24,страницы 60

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней

Ю. А. Манкелевич^abc, А. В. Митин^abc, В. С. Митин^abc, А. Ф. Паль^abc, Т. В. Рахимова^abc, А. Н. Рябинкин^abc, А. О. Серов^abc, С. Ю. Лучкин^abc

^a Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына
^b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
^c Всероссийский научно-исследовательский институт неорганических материалов им. академика А. А. Бочвара, г. Москва

Аннотация: На основании экспериментальных данных по распылению медно-графитовых катодов предложен механизм равноскоростного распыления элементов мозаичных мишеней, изготовленных из материалов с коэффициентами распыления, отличающимися почти на порядок. Механизм учитывает возникновение перепада высот между элементами мозаики на начальном этапе распыления, перераспределение ионных потоков между элементами, а также эффекты, связанные с массопереносом в плазме и внедрением распыленных атомов в элементы мозаики другого сорта.

Поступила в редакцию: 06.04.2012