Численное моделирование роста пленок $Ga\,As$ в проточных газоэпитаксиальных реакторах

А. И. Жмакин, И. П. Ипатова, Ю. Н. Макаров, А. А. Фурсенко

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 30.04.1985

Реферативные базы данных:

•