Формирование наноперемещений пьезоэлектрическим осциллятором и кинематической парой вращения

Рассмотрен принцип формирования наноперемещений с помощью пьезоэлемента, нагруженного с одной стороны инерционным элементом, а с другой - кинематической парой вращения. Разработана модель такого пьезоэлемента для случая сухого трения в паре вращения, приведены результаты исследований, выполненных с ее помощью. Показано, что демпфирование колебаний пьезоэлемента повышает степень управления величиной перемещений. Описан привод, реализующий предложенный принцип формирования наноперемещений.