Аннотация:
Построена нестационарная квазиодномерная модель процесса сублимации монокристаллической пластины из $\beta$-дикетоната в однородном потоке нейтрального газа. Разработан метод коллокации и наименьших квадратов решения задач теплообмена. В отличие от ранее использовавшихся вариантов метода предлагаемый алгоритм предназначен для решения нестационарных уравнений в частных производных с фазовым переходом. Проведены численные расчеты различных режимов процесса сублимации $\beta$-дикетоната хрома, результаты которых хорошо согласуются с данными физического эксперимента.
Ключевые слова:сублимация, химическое осаждение, $\beta$-дикетонат, тепло- и массообмен, моделирование.
УДК:
536.44+571.363:519.63
Поступила в редакцию: 16.08.2002 Принята в печать: 12.11.2002