RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Прикладная механика и техническая физика
// Архив
Прикл. мех. техн. физ.,
1994
, том 35,
выпуск 1,
страницы
13–21
(Mi pmtf3743)
Эта публикация цитируется в
2
статьях
Моделирование моносилановой плазмы ВЧ-разряда
В. А. Швейгерт
,
М. И. Жиляев
,
И. В. Швейгерт
г. Новосибирск
УДК:
537.525
Поступила в редакцию:
03.03.1993
Полный текст:
PDF файл (881 kB)
Список цитирования
Англоязычная версия:
Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 1994,
35
:1,
13–20
©
МИАН
, 2024