О пространственном разрешении и точности интерферометрии фазовых микрообъектов

Проведен экспериментальный анализ пространственного разрешения интерферометрической установки на примере микрообъектов со скачкообразным изменением плотности. Показана возможность получения надежных результатов при обработке интерферограмм оптических неоднородностей с характерным размером $\sim$50–400 мкм. Установлено, что более строгий теоретический анализ вопроса о предельном пространственном разрешении требует рассмотрения дифракции света на объемных структурах.