Измерение пространственных распределений плотности остаточного газа и электрического потенциала в плазме

Предлагается метод определения профилей плотности молекулярной и(или) атомарной компонент остаточного газа в объеме, занятом плазмой, основанный на перезарядке вводимого в плазму пучка быстрых ионов. Одновременно измеряется профиль распределения электрического потенциала в плазме. Приведены результаты измерений в слабоионизованной гелиевой и водородной плазмах пеннинговского разряда.