Получение тонкопленочных волноводов на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников методом лазерного напыления

Экспериментально исследованы волноводные структуры на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников, полученные методом лазерного напыления. Изучена зависимость коэффициента затухания от режимов напыления. Выделена область составов системы $As-Se$, имеющая практическое значение для изготовления высококачественных ТПВ. Показаны пути дальнейшего улучшения характеристик ТПВ.