Н. Н. Колачевский, Э. Льюис, Э. Шпиллер, М. М. Митропольский, Ф. Бийкерк, Е. Н. Рагозин, “Спектральные характеристики кобальт-углеродных многослойных зеркал для диапазона λ ≈ 7.5 нм”, Квантовая электроника, 24:8 (1997), 731

Эта публикация цитируется в 1 статье

Элементы лазерных установок. Резонаторы. Зеркала

Спектральные характеристики кобальт-углеродных многослойных зеркал для диапазона λ ≈ 7.5 нм

Н. Н. Колачевский^a, Э. Льюис^b, Э. Шпиллер^c, М. М. Митропольский^a, Ф. Бийкерк^b, Е. Н. Рагозин^a

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
^b FOM Institute for Plasma Physics Rijnhuizen, Nieuwegein, The Netherlands
^c IBM T. J. Watson Research Center, New York, USA

Аннотация: Изготовлены многослойные кобальт-углеродные зеркала на подложках из Si(111) с использованием электронно-лучевого напыления и полировки металлических слоев ионами Kr⁺. Разработан новый спектроскопический метод оценки параметров плоских многослойных рентгеновских зеркал при освещении образца широкополосным спектром лазерно-плазменного источника с последующим диспергированием излучения дифракционной решеткой, работающей на пропускание.

PACS: 07.85.Fv, 81.15.Ji

Поступила в редакцию: 14.11.1996