А. М. Ражев, А. И. Щедрин, А. Г. Калюжная, А. А. Жупиков, “Влияние параметров возбуждения и активной среды на эффективность эксимерного электроразрядного ArF-лазера”, Квантовая электроника, 35:9 (2005), 799

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Лазеры

Влияние параметров возбуждения и активной среды на эффективность эксимерного электроразрядного ArF-лазера

А. М. Ражев^a, А. И. Щедрин^b, А. Г. Калюжная^b, А. А. Жупиков^a

^a Институт лазерной физики СО РАН, г. Новосибирск
^b Институт физики НАН Украины, г. Киев

Аннотация: Разработана кинетическая модель процессов, протекающих в плазме электроразрядного эксимерного ArF-лазера (λ = 193 нм) на смесях с буферными газами He и Ne. Проведены теоретическое и экспериментальное исследования влияния параметров возбуждения и активной среды на энергию генерации и полный КПД эксимерного электроразрядного ArF-лазера. Показано, что для достижения максимальной энергии генерации при максимальном КПД в ArF-лазере на смеси He–Ar–F₂ необходима удельная мощность накачки ~4.5–5.0 МВт/см³. Впервые для ArF-лазера на смесях с буферным газом гелием при удельной мощности накачки 5.0 МВт/см³ получена энергия в импульсе 1.3 Дж при КПД 2.0%.

PACS: 42.55.Lt, 42.60.Lh

Поступила в редакцию: 08.06.2005