Спектральные характеристики источников предыонизации CO2-лазеров в области вакуумного ультрафиолета

Сообщаются результаты сравнительного изучения спектров излучения искрового и скользящего разрядов в области 114–200 нм. Показано, что скользящий разряд как в завершенной, так и в незавершенной стадии является более эффективным источником УФ излучения для предыонизации рабочего объема CO₂-лазеров по сравнению с искровым разрядом. Это объясняется возможностью концентрировать энергию излучения в нужном спектральном диапазоне и оптимально располагать плазму разряда по отношению к рабочему объему лазера. Временное исследование интенсивности излучения наиболее характерных спектральных линий показало, что изменение спектра незавершенного скользящего разряда при смене полярности импульса питания связано с механизмом формирования скользящего разряда.