Аннотация:
Сообщается о применении лазерного интерферометра для одновременного измерения распределения амплитуд колебаний поверхности кварцевых пьезоэлементов, радиуса кривизны и микродефектов с визуализацией зоны сканирования луча на телевизионном экране. Обсуждаются результаты экспериментов, выполненных на пьезоэлементах АТ- и ДТ-срезов, а также перспективы использования метода для совершенствования методики прецизионной подгонки частоты кварцевых резонаторов.