Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск
Аннотация:
Сообщается о свойствах и параметрах волноводов, полученных облучением ионами H$^+_2$, He$^+$, Ar$^+$, Xe$^+$ с энергиями до 3 МэВ и с дозами до $5\times10^{16}$ см$^{-2}$. Отмечается, что наименьшие потери ($\sim3$ дБ/см) присущи волноводам, полученным облучением ионами Xe$^+$; последующий отжиг (до 500$^\circ$ C) уменьшает их до $\lesssim0,3$ дБ/см. Указывается на неэффективность получения волноводов внедрением H$^+_2$, так как они подвержены самопроизвольному отжигу.