RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Квантовая электроника // Архив

Квантовая электроника, 1976, том 3, номер 2, страницы 461–463 (Mi qe10972)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Краткие сообщения

Оптические волноводы, полученные облучением плавленого кварца ионами

В. В. Васильев, А. А. Нестеров, С. А. Соколов, В. В. Шашкин

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск

Аннотация: Сообщается о свойствах и параметрах волноводов, полученных облучением ионами H$^+_2$, He$^+$, Ar$^+$, Xe$^+$ с энергиями до 3 МэВ и с дозами до $5\times10^{16}$ см$^{-2}$. Отмечается, что наименьшие потери ($\sim3$ дБ/см) присущи волноводам, полученным облучением ионами Xe$^+$; последующий отжиг (до 500$^\circ$ C) уменьшает их до $\lesssim0,3$ дБ/см. Указывается на неэффективность получения волноводов внедрением H$^+_2$, так как они подвержены самопроизвольному отжигу.

УДК: 621.378.9

PACS: 84.40.Vt

Поступила в редакцию: 30.07.1975


 Англоязычная версия: Soviet Journal of Quantum Electronics, 1976, 6:2, 254–255


© МИАН, 2024