О стабильности генерации компактного KrF-лазера мощностью 600 Вт

Рассмотрены вопросы стабильности генерации KrF-лазера со средней мощностью излучения не менее 600 Вт. Экспериментально исследованы зависимости среднеквадратичного отклонения энергии генерации σ от зарядного напряжения, частоты следования импульсов и времени работы лазера после пуска. Показано, что σ меняется от 1.2 до 6.0% в зависимости от условий экспериментов. При средней мощности ~600 Вт значение σ не превышало 3.2%.