У. Шаде, Д. Малы, К. Фогель, В. Френтруп, П. Тиле, “Изучение термической стабильности контактов Cr–Au с GaAs p-типа”, Квантовая электроника, 15:11 (1988), 2288

Эта публикация цитируется в 1 статье

Международная конференция по полупроводниковым инжекционным лазерам СЕЛКО-87

Изучение термической стабильности контактов Cr–Au с GaAs p-типа

У. Шаде^ab, Д. Малы^ab, К. Фогель^ab, В. Френтруп^ab, П. Тиле^ab

^a Центральный институт оптики и спектроскопии АН ГДР, Берлин
^b Университет им. А. Гумбольдта, Берлин

Аннотация: С использованием масс-спектроскопии вторичных ионов и поверхностного профилирования изучена термостабильность контактной системы Au–Cr–p-GaAs при термообработках в интервале 300–500 °C.

УДК: 621.373.826.038.825.4

PACS: 73.40.Ns, 68.47.Fg, 81.40.Gh