Аннотация:
При облучении кристаллического кремния с ориентацией поверхности (100) фемтосекундными лазерными импульсами были сформированы периодические микроструктуры – решетки, ориентированные перпендикулярно направлению поляризации излучения. Исследовано поведение сигнала третьей оптической гармоники в таких микроструктурах. Показано, что ориентационные зависимости сигнала третьей гармоники для оптически наведенных решеток определяются морфологией последних на облученной поверхности кремния, что позволяет проводить диагностику данных микроструктур in situ.