Планарная эксилампа на хлоридах инертных газов с накачкой поперечным самостоятельным разрядом

Приведены конструкция и параметры излучения источника УФ и ВУФ спонтанного излучения – эксилампы, работающей на молекулах хлоридов инертных газов ArCl^*, KrCl^* и XeCl^* в диапазоне длин волн 175–308 нм. Для возбуждения смесей Ne–Xe (Kr, Ar)–HCl использовался самостоятельный разряд высокого давления с искровой предыонизацией. Показано, что при накачке поперечным разрядом смесей инертных газов и галогенов интенсивности свечения полосы В–Х молекул ArCl^*, KrCl^* и XeCl^* сравнимы, и до 90% энергии излучения экcиламп может быть сконцентрировано в УФ области спектра. Пиковая плотность мощности УФ излучения на λ = 222 и 308 нм на поверхности выходного окна эксилампы составляла ~2 кВт/см² при энергии в импульсе до ~3 мДж. Энергия излучения на λ=175 нм на выходе эксилампы достигала ~0.6 мДж при пиковой плотности мощности ~0.4 кВт/см².