В. Г. Ральченко, А. В. Савельев, В. И. Конов, Д. Маццео, Ф. Спациани, Д. Конте, В. И. Поляков, “УФ детекторы на основе поликристаллических алмазных пленок для эксимерных лазеров”, Квантовая электроника, 36:6 (2006), 487

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Письма

УФ детекторы на основе поликристаллических алмазных пленок для эксимерных лазеров

В. Г. Ральченко^a, А. В. Савельев^a, В. И. Конов^a, Д. Маццео^b, Ф. Спациани^b, Д. Конте^b, В. И. Поляков^c

^a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва
^b University of Rome "Roma Tre", Italy
^c Институт радиотехники и электроники РАН, г. Фрязино, Московская обл.

Аннотация: На основе поликристаллических алмазных пленок сконструированы фоторезистивные детекторы типа металл–полупроводник–металл для регистрации непрерывного и импульсного УФ излучения, имеющие высокую спектральную селективность фотоотклика (отношение сигналов в УФ и видимом диапазонах около 10⁵) и временное разрешение порядка 10^-9 c. "Солнечно-слепые" радиационно стойкие алмазные детекторы перспективны для использования в УФ литографии, лазерной микрообработке, медицине, космических исследованиях.

PACS: 73.40.Ty, 73.50.Pz, 73.61.Ng, 85.60.Gz

Поступила в редакцию: 27.04.2006