Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии

С использованием интерференции импульсного излучения и полного цикла литографии созданы фазовые маски на кварце и антиотражающие структуры на кварце и кремнии. При помощи компьютерной программы на основе строгого решения интегрального уравнения рассчитано пропускание гофрированной границы вакуум — твёрдое тело для параметров, близких к параметрам экспериментальных структур. Результаты измерений достаточно хорошо согласуются с расчётами. Разработанные методы могут быть полезны для создания оптических и полупроводниковых устройств.