Высокочувствительный интерферометрический контроль дифракционных элементов

Показана перспективность применения интерферометрии большого бокового сдвига для контроля качества дифракционных элементов. При этом используются два дифракционных элемента, один из которых является исследуемым, а другой — эталонным. Предложено универсальное устройство, позволяющее контролировать качество дифракционных элементов как пропускающего, так и отражательного типа. Приведены результаты экспериментальной реализации методики для контроля качества изготовления двумерных амплитудных масок и отражательных дифракционных решеток.