В. В. Кононенко, В. И. Конов, С. М. Пименов, A. М. Прохоров, В. С. Павельев, В. А. Сойфер, “Алмазная дифракционная оптика для СО2-лазеров”, Квантовая электроника, 26:1 (1999), 9

Эта публикация цитируется в 40 статьях

Письма в редакцию

Алмазная дифракционная оптика для СО₂-лазеров

В. В. Кононенко^a, В. И. Конов^a, С. М. Пименов^a, A. М. Прохоров^a, В. С. Павельев^b, В. А. Сойфер^b

^a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва
^b Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Самара, Россия, г. Самара

Аннотация: Предложен и реализован метод лазерного формирования фазового микрорельефа алмазных дифракционных оптических элементов (ДОЭ) для дальнего ИК диапазона. Для излучения СО₂-лазера (λ = 10.6 мкм) создан одномерный ДОЭ — цилиндрическая линза с апертурой 4 × 4 мм и фокусным расстоянием 25 мм. Микроструктурирование поверхности осуществлялось селективным абляционным травлением алмаза излучением эксимерного KrF-лазера (λ = 248 нм). Измерены распределение интенсивности поля в фокальной области линзы, глубина фокуса и дифракционная эффективность ДОЭ. Отмечена высокая степень корреляции между экспериментальными характеристиками элемента и результатами компьютерного моделирования.

PACS: 42.79.Bh, 42.55.Lt, 42.60.By

Поступила в редакцию: 26.11.1998