Аннотация:
Представлены результаты исследования электроразрядного ArF-лазера (длина волны 193 нм) с полностью твердотельным генератором накачки на основе полупроводникового коммутатора и системы магнитного сжатия высоковольтных импульсов. Максимальная энергия излучения составила 15 мДж, длительность лазерных импульсов — 18 нс, частота их следования — 1 кГц.
PACS:42.55.Lt, 42.60.Lh
Поступила в редакцию: 10.09.2008 Исправленный вариант: 02.04.2009