Матричное микрорезонаторное ИК фотоприемное устройство

Предложено оригинальное матричное микрорезонаторное ИК фотоприемное устройство и рассчитаны его ожидаемые параметры: чувствительность единичного чувствительного элемента и быстродействие. Чувствительный элемент представляет собой кремниевый составной микрорезонатор, выполненный в виде двух оптически связанных замкнутых кольцевых волноводов на диэлектрической подложке, резонансная длина волны которого зависит от его температуры. Эта зависимость используется для регистрации ИК излучения, которое нагревает поглощающий элемент и термически связанный с ним составной микрорезонатор. Показано, что при пространственном разрешении 45 мкм быстродействие составляет 30 мс, а чувствительность равна 10^-3 K при мощности ИК излучения ~4.7 × 10^-8 Вт/элемент.