А. А. Астафьев, А. М. Шахов, О. М. Саркисов, В. А. Надточенко, “Микроструктурирование полимерных плёнок фемтосекундными импульсами через полистирольные микрошарики, захваченные оптической ловушкой”, Квантовая электроника, 43:4 (2013), 361

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Экстремальные световые поля и их приложения

Микроструктурирование полимерных плёнок фемтосекундными импульсами через полистирольные микрошарики, захваченные оптической ловушкой

А. А. Астафьев^a, А. М. Шахов^b, О. М. Саркисов^a, В. А. Надточенко^acb

^a Институт химической физики им. Н. Н. Семенова РАН, г. Москва
^b Московский физико-технический институт (государственный университет), г. Долгопрудный, Московская обл.
^c Институт проблем химической физики РАН, г. Черноголовка Московской обл.

Аннотация: Рассмотрено использование для лазерной абляции полимера фемтосекундных (18 и 54 фс) импульсов излучения, сфокусированного сферическими микролинзами диаметром 1 и 3.8 мкм, которые удерживаются оптическими ловушками. Показано, что данная техника позволяет создавать на поверхности структуры с поперечными размерами до λ/6 (125 нм). Обнаружено, что размеры структур зависят от диаметра микролинзы; наибольшее пространственное разрешение было достигнуто с микролинзами диаметром 1 мкм.

Ключевые слова: микроструктурирование поверхности, фемтосекундные импульсы, лазерная абляция, сферические микролинзы.

PACS: 81.65.-b, 31.70.Vz, 42.65.Re, 79.20.Eb

Поступила в редакцию: 24.12.2012