Н. Ф. Абрамов, О. Д. Вольпян, Ю. А. Обод, Р. В. Дронский, “Получение наноградиентных покрытий для лазерных приборов методом магнетронного распыления”, Квантовая электроника, 43:9 (2013), 791

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Наноградиентные диэлектрические покрытия и метаматериалы

Получение наноградиентных покрытий для лазерных приборов методом магнетронного распыления

Н. Ф. Абрамов^a, О. Д. Вольпян^a, Ю. А. Обод^a, Р. В. Дронский^b

^a ОАО «НИИ "Полюс" им. М. Ф. Стельмаха», г. Москва
^b ООО «НПК Фотрон-Авто», г. Москва

Аннотация: Показаны значительные преимущества магнетронного метода нанесения сложных высококачественных оптических покрытий для лазерных приборов. Рассмотрены технологические аспекты эффективного получения таких покрытий. Описаны возможности разработанного автоматизированного технологического и контрольного оборудования.

Ключевые слова: наноградиентные покрытия, магнетронное распыление, тонкопленочные элементы, оптические покрытия.

PACS: 78.67.Pt, 52.77.Dq

Поступила в редакцию: 24.04.2013
Исправленный вариант: 09.08.2013